氣浮板 氣浮條(板) 1.氣浮板的核心原理氣浮板通過(guò)向平臺(tái)底部或?qū)к墖娚涓邏簹怏w（如空氣、氮?dú)猓?，在平臺(tái)與支撐面之間形成一層微米級(jí)氣膜（通常5~50μm），從而實(shí)現(xiàn)：非接觸懸?。合龣C(jī)械摩擦，實(shí)現(xiàn)零磨損運(yùn)動(dòng)。超高精度定位：在線咨詢 產(chǎn)品詳情 1. 氣浮板的核心原理 氣浮板通過(guò)向平臺(tái)底部或?qū)к墖娚涓邏簹怏w（如空氣、氮?dú)猓?，在平臺(tái)與支撐面之間形成一層微米級(jí)氣膜（通常5~50μm），從而實(shí)現(xiàn)： 非接觸懸浮：消除機(jī)械摩擦，實(shí)現(xiàn)零磨損運(yùn)動(dòng)。 超高精度定位：氣膜均勻穩(wěn)定，運(yùn)動(dòng)精度可達(dá)納米級(jí)（<100nm）。 多自由度運(yùn)動(dòng)：可設(shè)計(jì)為平面氣?。╔-Y移動(dòng)）或旋轉(zhuǎn)氣?。é容S轉(zhuǎn)動(dòng)）。 2. 氣浮板的主要類型 類型 特點(diǎn) 典型應(yīng)用 平面氣浮平臺(tái)（X-Y軸） 通過(guò)氣孔陣列形成平面氣膜，實(shí)現(xiàn)二維精密移動(dòng) 光刻機(jī)、晶圓檢測(cè) 氣浮導(dǎo)軌（直線運(yùn)動(dòng)） 沿氣浮導(dǎo)軌單向運(yùn)動(dòng)，剛度高、無(wú)反向間隙 精密機(jī)床、測(cè)量設(shè)備 旋轉(zhuǎn)氣浮平臺(tái)（θ軸） 利用環(huán)形氣膜實(shí)現(xiàn)無(wú)摩擦旋轉(zhuǎn) 衛(wèi)星姿態(tài)控制、光學(xué)對(duì)準(zhǔn) 真空預(yù)載氣浮平臺(tái) 結(jié)合真空吸附增強(qiáng)穩(wěn)定性，抗外部干擾 高加速度運(yùn)動(dòng)平臺(tái) 3.?典型應(yīng)用場(chǎng)景 半導(dǎo)體制造 光刻機(jī)工作臺(tái)（ASML）：納米級(jí)套刻精度。 晶圓檢測(cè)設(shè)備：高速無(wú)振動(dòng)掃描。 精密加工與測(cè)量 超精密機(jī)床：加工光學(xué)透鏡、自由曲面。 三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)（CMM）：高重復(fù)性檢測(cè)。 航空航天 衛(wèi)星載荷校準(zhǔn)：無(wú)摩擦旋轉(zhuǎn)測(cè)試。 慣性導(dǎo)航模擬：高精度運(yùn)動(dòng)仿真。 科研儀器 同步輻射裝置：光束線精密調(diào)整。 量子實(shí)驗(yàn)平臺(tái)：抗振動(dòng)干擾。 上一篇： 氣浮板 下一篇：沒(méi)有了
