? ? ? ? ? ?氣浮板是所有需要非接觸運(yùn)輸和平面脆弱物體精確定位的過程的解決方案。
? ? ? ? ? ?用于太陽(yáng)能電池板生產(chǎn)的結(jié)構(gòu)過程。在此過程中,玻璃基板懸浮在距離承載板幾個(gè)μm的一定距離上。
? ? ? ? ? ?這是通過壓力噴嘴和真空噴嘴的精確布置來實(shí)現(xiàn)的。精確定位的要求是不能通過簡(jiǎn)單地通過壓力噴嘴創(chuàng)建 一個(gè)氣墊來滿足的。只有正負(fù)壓的相互作用才能使玻璃基板能夠精確地定位,使它們能夠在固定激光器的 狹窄焦點(diǎn)內(nèi)移動(dòng)。在移動(dòng)基板上的指定位置內(nèi)的平面 度的重復(fù)性非常高。浮動(dòng)單元的主體是由黑色陽(yáng)極氧 化鋁制成的。
? ? ? ? ? ?并排放置多個(gè)浮動(dòng)單元是可能的。偏差尺寸可根據(jù)要 求提供。邊緣處的氣隙可以由一個(gè)單獨(dú)的氣源單獨(dú)控制。它被設(shè)置為45μm,而PV的功能被保留。


行業(yè)痛點(diǎn)
摩擦損耗嚴(yán)重:傳統(tǒng)導(dǎo)軌依賴機(jī)械接觸,長(zhǎng)期使用易磨損,導(dǎo)致精度下降、維護(hù)成本高。
動(dòng)態(tài)性能不足:高速運(yùn)動(dòng)時(shí)慣性大、加速響應(yīng)慢,難以適配高頻次啟停場(chǎng)景。
精度天花板低:微米級(jí)誤差無法滿足光刻、生物檢測(cè)等納米級(jí)工藝要求。
能耗成本攀升:氣動(dòng)設(shè)備耗氣量高,長(zhǎng)期運(yùn)行能源浪費(fèi)顯著。
產(chǎn)品類別及優(yōu)勢(shì)
(1)小孔標(biāo)準(zhǔn)氣浮板核心優(yōu)勢(shì):高性價(jià)比,穩(wěn)定性強(qiáng)應(yīng)用場(chǎng)景:通用機(jī)械臂定位小孔標(biāo)準(zhǔn)氣浮板是中研贏創(chuàng)氣浮板系列中的基礎(chǔ)款產(chǎn)品,它具備氣浮板的基本性能,能夠滿足大多數(shù)常規(guī)工業(yè)應(yīng)用的需求。
(2)小孔精密真空預(yù)壓氣浮板核心優(yōu)勢(shì):真空吸附增強(qiáng)負(fù)載能力,抗振動(dòng)干擾應(yīng)用場(chǎng)景:高精度測(cè)量?jī)x器、振動(dòng)環(huán)境檢測(cè)設(shè)備小孔精密真空預(yù)壓氣浮板在標(biāo)準(zhǔn)氣浮板的基礎(chǔ)上進(jìn)行了升級(jí),引入了精密真空預(yù)壓技術(shù)。通過在氣浮板表面施加均勻的真空壓力,能夠更有效地吸附工件,提高氣浮系統(tǒng)的穩(wěn)定性和定位精度。
(3)多孔石墨精密氣浮板核心優(yōu)勢(shì):潔凈室兼容,氣膜均勻性優(yōu)異應(yīng)用場(chǎng)景:LCD面板檢測(cè)、晶圓搬運(yùn)多孔石墨精密氣浮板采用了先進(jìn)的多孔石墨材料,這種材料具有良好的自潤(rùn)滑性、耐高溫性和化學(xué)穩(wěn)定性。多孔石墨的特殊結(jié)構(gòu)能夠使氣浮板在運(yùn)行過程中形成更加均勻的氣膜,進(jìn)一步提高氣浮效果和定位精度。
(4)多孔石墨超精密氣浮板核心優(yōu)勢(shì):納米級(jí)運(yùn)動(dòng)控制,超高剛性應(yīng)用場(chǎng)景:光刻機(jī)、高端光學(xué)檢測(cè)平臺(tái)對(duì)于那些對(duì)精度要求近乎苛刻的應(yīng)用場(chǎng)景,中研贏創(chuàng)推出了多孔石墨超精密氣浮板。這款氣浮板在多孔石墨精密氣浮板的基礎(chǔ)上,進(jìn)一步優(yōu)化了制造工藝和結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),將定位精度提升到了更高的水平。
(5)多孔陶瓷超精密氣浮板核心優(yōu)勢(shì):耐高溫、耐腐蝕,極端環(huán)境性能穩(wěn)定應(yīng)用場(chǎng)景:航天部件加工、化學(xué)精密合成反應(yīng)臺(tái)多孔陶瓷超精密氣浮板是中研贏創(chuàng)氣浮板家族中的創(chuàng)新產(chǎn)品,采用了新型的多孔陶瓷材料。多孔陶瓷具有高強(qiáng)度、低密度、良好的耐磨性和耐腐蝕性等優(yōu)點(diǎn),使得氣浮板在具備超精密定位能力的同時(shí),還擁有出色的機(jī)械性能和使用壽命。
