小巧玲瓏的MAPS 系列能應(yīng)對(duì)全自由度的振動(dòng)?

明立精機(jī)的MAPS系列產(chǎn)品的除振系統(tǒng)是在精巧的形狀中加入垂直與水平用的氣壓驅(qū)動(dòng)器而構(gòu)成的組裝型除振裝置。使用1組4個(gè)的話，對(duì)應(yīng)全自由度的振動(dòng)，能發(fā)揮出優(yōu)秀的除振性能、制振性能、定位性能等。?

MAPS 可以消除被動(dòng)除振的困難頻段的振動(dòng)?

被動(dòng)除振不時(shí)常有，因?yàn)楣逃姓駝?dòng)而產(chǎn)生的共振問(wèn)題的例子，如果進(jìn)行主動(dòng)化即可去除固有振動(dòng)的共振。而且，也能獲得在此頻段的優(yōu)秀除振性能。例如：在被動(dòng)除振 不擅長(zhǎng)的 2Hz 附近的低頻振動(dòng)領(lǐng)域中，比起被動(dòng)除振，主動(dòng)除振可以 將振動(dòng)減小至 1/30 ～ 1/100 以下。

標(biāo)準(zhǔn)的MAPS可除振10噸以上的設(shè)備?

近年的精密設(shè)備伴隨著功能 的充實(shí)，越來(lái)越傾向于大型化?？?重量超過(guò)10噸的設(shè)備已經(jīng)被開(kāi)發(fā)出來(lái)。因?yàn)樵O(shè)備的大型化很難保持設(shè)備自身的高固有頻率，所以以前幾乎不會(huì)成為問(wèn)題的低頻振動(dòng)卻變 得很容易影響設(shè)備。這個(gè)也是對(duì)于低頻振動(dòng)有優(yōu)秀除振性能的主動(dòng)型除振系統(tǒng)必需的一個(gè)理由。

MAPS 具有優(yōu)秀的精確定位及精密校平性能?

設(shè)備變大的話，傾斜就會(huì)成為問(wèn)題。由于設(shè)備自身很重，如果傾斜，自重會(huì)造成彎曲，對(duì)精度的顯著影響就會(huì)出現(xiàn)。因?yàn)?MAPS是充分考慮精密校平性能后實(shí)行控制的，能抑制傾斜并能保持精度。其次，MAPS考慮精確定位后實(shí)行控制，能平順地傳遞晶圓及LCD面板。