轉(zhuǎn)速可達(dá)5000/分鐘，最邊緣處跳動(dòng)小于0.3微米;氣膜剛度大，客戶可自行集成電機(jī)和編碼器;可用于晶圓減薄、拋光，既可以作為載物臺(tái)又可以作為加工主軸。