產(chǎn)品描述：

● 防止晶片帶電?

碳是一種優(yōu)良的絕緣體 ，因不容易帶電，所以工作被吸附后會接地 ，作為靜電對策來說是有效的，最適合吸附厭靜電的工作場景

● 適應(yīng)高溫環(huán)境??

通過把所有的零件材質(zhì)全換成碳，最大限度地發(fā)揮碳出色的熱特性，耐熱溫度在大氣中為250°C，在惰性氣體中為900°C?

● 耐熱沖擊性高

即使急熱、急冷，也不會破損? ，陶瓷吸盤的抗熱沖擊性弱

● 穩(wěn)定性強

由于同一材料構(gòu)成，不易因熱膨脹差引起的精度變化

●輕量化減少設(shè)備負擔(dān)

與陶瓷吸附盤相比，可以減輕約40%的重量。

●發(fā)塵量低

幾乎沒有發(fā)塵，而陶瓷吸盤會持續(xù)發(fā)塵

●孔徑小

孔徑5um左右，對晶圓壓力小

產(chǎn)品用途:

○半導(dǎo)體制造(后工序)設(shè)備分類

?晶片表面保護膠帶粘貼用吸附臺

?晶片表面保護膠帶剝離用吸附臺

?晶片檢測裝置用吸附臺

?UV 照射裝置吸附臺

?晶片安裝裝置的材料處理真空卡盤

?晶片清洗裝置的旋轉(zhuǎn)頭

○半導(dǎo)體制造（后工序）工序分類

?TSV 工序

?切割工序

?背面研磨工序