緊湊的機身集成了6自由度的主動除振機構，可提供以往的被動型無法實現(xiàn)的振動環(huán)境。這款機器可以最大限度的發(fā)揮近年來發(fā)展神速的納米技術領域所要求的高精度及高分解能。

應用：

掃描探針顯微鏡、共聚焦激光顯微鏡、干涉儀系統(tǒng)、三維形狀測定器及其他的精密測定精密加工機器。

6 自由度主動控制

可以隨時監(jiān)控搭載盤的振動，通過內(nèi)置的驅(qū)動器施加反向位的力，通過這種方式實現(xiàn)振動控制。實現(xiàn) 3 維（6 自由度）的控制。

自動主動調(diào)整 & 自動水平調(diào)整

主動控制所不可或缺的增益調(diào)整采用了明立精機獨有的控制系統(tǒng)，通過這種方式可以得到自動優(yōu)化 。